RTP快速退火炉

此款设备采用了自主研发的智能AIO（All In One）控制系统，实现了炉膛自动左右移动，红外加热方式使得样品可以快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温。选配的AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠。

主要特点

Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；

Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；

Ø 直接测量样品表面温度，测温更精准；

Ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用。