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当前产品硅晶片扩散炉炉体

硅晶片扩散炉炉体

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  • 公司名称湖南艾普德工业技术有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/3/21 19:58:50
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产品详情

产品详情:

主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与
美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号
扩散炉配套(替代进口),选用进口材料,制作而成。可用于2-8英寸硅
片的扩散工艺。

产品说明:

★优质加热丝:KANTHALAPM A-1 AF DHRE

★绝热材料:PMF T2 T3…晶体纤维等

★绝缘子: 高纯刚玉

★端口过渡环:氧化铝氧化锆等真空成型。

★控温段:3段、5段、9段控温

用途:

★半导体扩散炉烧结炉等

★满足4"-8"圆晶扩散炉"

★完整的产品系列

★进口替代

★的材料及制造技术,指标优异

★使用温度:室温-1400℃±0.5

★高温型、普通型、快速升降温型


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湖南艾普德工业技术有限公司

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