高真空高温蒸发提纯炉

1. 加热方式：中频感应或电阻加热，匹配专用高精度加热电源，可调可控；

2. 工作温度：温度2600℃长期运行，可选配900℃、1300℃、1700℃、2300℃和2600℃，根据不同的工作温度选用加热方式和保温材料，匹配专用热场。

3. 仪表控温精度：0.3级，根据客户实际使用温度选配热电偶，选用进口30段温控仪，匹配全数字化功率控制器，温度控制精度±1℃，过冲不超过2℃；

4. 坩埚尺寸：根据客户需求定制，可选择坩埚尺寸和热均匀区大小，若选热均匀区大小，温度偏差不超过2%，坩埚可选用钨钼、铱金、石墨和石英等难熔材料（铱金坩埚客户自行采购）；

5. 具有升温速率调节功能，二路质量流量计（可选），可选配氢气保护条件下退火，默认保护气体为氮气、氩气，准确度±1% F.S，线性±0.5 % F.S，重复精度±0.2% F.S；；

6. 极限真空度：优于8×10^-4 Pa（冷态、空载），选用分子泵系统为8×10^-5 Pa；

7. 真空排气机组采用水冷方式，默认为扩散泵高真空系统，若对洁净度有苛刻要求可选配分子泵无油真空系统；

8. 设备的漏率：低于6.0×10^-7 Pa·m3/s，全是用SUS304不锈钢制造，内抛光外电解或酸洗工艺；

9.真空测量：两路电阻规，一路电离规；对真空室和真空管道分别精确监控，带数据通讯，测量范围：1×10⁵～1×10^-5Pa，电阻规和电离规均采用防爆型金属封结真空规。
        10.标准配置为西门子PLC+人机界面，能够执行自动抽真空、自动温压强、自动加热、自动运行存储工艺和自动报警功能。